氣體的監(jiān)測(cè)和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點(diǎn)或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測(cè)與分析，只有采用先進(jìn)的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)，氣體監(jiān)測(cè)和分析的重要性，隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和的塵埃污染，也會(huì)給生產(chǎn)帶來嚴(yán)重的破壞性。
電子氣體主要分為氫化物（超純氫、、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國家相比，尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對(duì)電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。
標(biāo)準(zhǔn)氣體又分為單標(biāo)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體。目前，標(biāo)準(zhǔn)氣體基本滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校準(zhǔn)等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用。但對(duì)活性較強(qiáng)的標(biāo)準(zhǔn)氣，國內(nèi)尚無法量產(chǎn)的問題，如氯標(biāo)氣、標(biāo)氣等。
高純氣體即為大家熟知的氧氣、氮?dú)?、氫氣、氦氣、氣等（純度通常都是大?9.999%的）。高純氣體大多用于超大規(guī)模的集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域。當(dāng)前國內(nèi)公司主要靠精餾分離制備高純氣體，國外公示在制備某些高純氣體時(shí)采用吸附劑凈化的方法，實(shí)現(xiàn)了常壓凈化和高壓提純充瓶。國內(nèi)技術(shù)在這方面進(jìn)來雖有所突破，但提純技術(shù)還有待提高。
關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)氣體的用途，大家應(yīng)該都非常的了解了，它可以用在我們生活中的很多領(lǐng)域，并且發(fā)揮非常重要的作用，下面我們就來了解一下它的相關(guān)知識(shí)吧。
標(biāo)準(zhǔn)氣體是已知準(zhǔn)確濃度的某種或某幾種待測(cè)物質(zhì)的空氣或惰性氣體化合物。在空氣理化檢驗(yàn)工作中，標(biāo)準(zhǔn)氣體廣泛用于空氣污染物的定性分析、定量分析和質(zhì)量控制工作。評(píng)價(jià)分析方法的準(zhǔn)確性、評(píng)價(jià)采樣方法的效率、校正分析儀器時(shí)都需要標(biāo)準(zhǔn)氣體。
靜態(tài)配氣法的特點(diǎn)是除高壓鋼瓶配氣法外，靜態(tài)配氣法具有設(shè)備簡(jiǎn)單進(jìn)，操作方便，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和稀釋氣體的用量小等優(yōu)點(diǎn)。
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